玻璃通孔(TGV)工藝在半導體封裝中應用廣泛,但在檢測過程中面臨諸多挑戰, 主要體現在以下幾點: 1、精度要求高 TGV技術的精度要求極高,通常是微米級。為了確保電氣性能和信號傳輸的穩定性,任何微小的形變或尺寸偏差都可能導致封裝失敗,因此對檢測精度的要求非常高。 2、材料和結構的複雜性 玻璃作為一種硬脆材料,具有較高的透明度